基板 エッチング 精度
香川大学工学部知能機械システム工学科 下川房男 1．はじめに エッチングは，基板上に形成された薄膜材料の微細加.
基板 エッチング 精度. 金属を基板上に付着させない薬液1),基板上の微粒子や 金属を効率的に除去する薬液,ま た,基 板上に形成した 種々薄膜を精度よくエッチングする薬液の開発が強く望 まれている2)。 界面活性剤添加薬液は,界 面活性剤が基板や微粒子な.
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